Dokumentart:
Technische Regel
Ausgabedatum:
2020-02
Titel (deutsch):
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung
Titel (englisch):
Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement
Preis:
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123,60 EUR
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Originalsprachen:
Deutsch
,
Englisch
