Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2014-02
Titel (deutsch):
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-603:2013
Titel (englisch):
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments (ISO 25178-603:2013); German version EN ISO 25178-603:2013
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Originalsprachen:
Deutsch
