Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2023-01
Titel (deutsch):
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021); Deutsche Fassung EN ISO 23216:2022
Titel (englisch):
Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry (ISO 23216:2021); German version EN ISO 23216:2022
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Originalsprachen:
Deutsch