DIN EN 62047-4 [AKTUELL]
Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2011-03
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik (IEC 62047-4:2008); Deutsche Fassung EN 62047-4:2010
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010
Preis:
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Originalsprachen:
Deutsch