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DIN EN 62047-3 [AKTUELL]

Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2007-02
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006); Deutsche Fassung EN 62047-3:2006
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch

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Norm

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