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DIN EN 62047-26 [AKTUELL]

Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2016-12
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen (IEC 62047-26:2016); Deutsche Fassung EN 62047-26:2016
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (IEC 62047-26:2016); German version EN 62047-26:2016
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch

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