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DIN EN 62047-21 [AKTUELL]

Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2015-04
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-21:2014); Deutsche Fassung EN 62047-21:2014
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch

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Norm

DIN EN 62047-18 : 2014-04

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