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DIN EN 62047-17 [AKTUELL]

Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2015-12
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch

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