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DIN EN 62047-12 [AKTUELL]

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Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2012-06
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 62047-12:2011); Deutsche Fassung EN 62047-12:2011
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011); German version EN 62047-12:2011
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch

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