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DIN EN 62047-11 [AKTUELL]

Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2014-04
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-11:2013); Deutsche Fassung EN 62047-11:2013
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013); German version EN 62047-11:2013
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch

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