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DIN EN 62047-10 [AKTUELL]

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Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2012-03
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-10:2011); Deutsche Fassung EN 62047-10:2011
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10:2011); German version EN 62047-10:2011
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch

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Norm

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