DIN EN 62047-1 [AKTUELL]
Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2016-12
Titel (deutsch):
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe (IEC 62047-1:2016); Deutsche Fassung EN 62047-1:2016
Titel (englisch):
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016); German version EN 62047-1:2016
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Originalsprachen:
Deutsch