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DIN 51456 [AKTUELL]

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Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2013-10
Titel (deutsch):
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Oberflächenanalyse von Silicium-Halbleiterscheiben (Wafer) durch Multielementbestimmung in wässrigen Analysenlösungen mittels Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS)
Titel (englisch):
Testing of materials for semiconductor technology - Surface analysis of silicon wafers by multielement determination in aqueous analysis solutions using mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)
Preis:
Download  70,50 EUR Versand  85,50 EUR
Originalsprachen: Deutsch
Varianten Download Versand
Sprache : Deutsch

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Entwurf

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