Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2023-08
Titel (deutsch):
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Ätzraten von Ätzmischungen - Teil 1: Silicium-Einkristalle, Gravimetrisches Verfahren
Titel (englisch):
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of etch rates of etching mixtures - Part 1: Silicium monocrystals, gravimetric method
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Originalsprachen:
Deutsch