Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2014-11
Titel (deutsch):
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH₄F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
Titel (englisch):
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH₄F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid
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Originalsprachen:
Deutsch
