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DIN 50450-9 [AKTUELL]

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Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2021-07
Titel (deutsch):
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie
Titel (englisch):
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C₁-C₃-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography
Preis:
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Originalsprachen: Deutsch
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Sprache : Deutsch
Redline inkl. Original : Deutsch

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