DIN 50450-4 [AKTUELL]
Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
1993-09
Titel (deutsch):
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie
Titel (englisch):
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C₁-C₃-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography
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Originalsprachen:
Deutsch