DIN 50450-2 [AKTUELL]
Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
1991-03
Titel (deutsch):
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle
Titel (englisch):
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N₂, Ar, He, Ne and H₂ by using a galvanic cell
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Originalsprachen:
Deutsch