Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2015-06
Titel (deutsch):
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse
Titel (englisch):
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences
Preis:
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Originalsprachen:
Deutsch
