DIN 32564-1 [AKTUELL]
Dokumentart:
Norm
Ausgabedatum:
2004-05
Titel (deutsch):
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik
Titel (englisch):
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology
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Originalsprachen:
Deutsch
